新松研制国内首套300mmIC生产线主动物料转移体系

  日前，沈阳新松机器人主动化股份有限公司承当的“300mmIC生产线主动物料转移体系研制与使用”项目在沈阳通过了国家科技严重专项“极大规划集成电路制作配备与成套工艺”（02专项）施行办理办公室安排的检验。

  该项目由新松公司联合中科院沈阳主动化所、上海集成电路研制中心有限公司等实力充足雄厚的研究院所、公司进行技能攻关，要点霸占在洁净体系模块规划及优化技能、无触摸供电技能、气流剖析技能、体系可靠性技能、物流调度剖析等共性关键技能，完成了物料操控办理体系软件、洁净天车、天井式转移车、洁净立库、洁净有轨制导车辆及外接晶片装载设备等中心设备的开发，并在上海集成电路研制中心有限公司完成了主动物料转移体系的演示使用，完成了洁净物料传输体系配备的国产化，项目合同期内完成了主动物料转移生产线亿元。

  该体系的研制成功不只打破了国外集成电路配备企业在国内的独占位置，降低了晶圆制作公司制作本钱，一起推动了我国集成电路配备工业的开展，并带动整个配备制作的工业链的开展，加快我国配备制作业的转型晋级。